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光敏型 通孔(kong)聚合物絕緣材(cai)料
編號︰ 16050302
名稱︰ 光敏型 通孔(kong)聚合物絕緣材(cai)料
領域︰ 材(cai)料科(ke)學
成果形式︰
投資額︰ 面議萬
案例數︰
技術階段︰ 研發階段
合作方式︰

方案詳述

本項目主要開發面向(xiang)三維 通孔(kong)工(gong)藝(yi)的光敏型聚合物絕緣層材(cai)料以取代傳(chuan)統高成本、低可(ke)靠性的氧化(hua) 工(gong)藝(yi)。光敏型 通孔(kong)聚合物絕緣材(cai)料主要通過旋涂或者噴涂的工(gong)藝(yi)在 通孔(kong)內(na)部制備保(bao)形涂層,同(tong)時通過曝光顯影實現通孔(kong)底部膠層的圖案fu) 吐zu)信號從正(zheng)面到背面的導ji)  詈蟛捎玫臀wen)固化(hua)工(gong)藝(yi)完成絕緣層的制備

技術參數

光敏型 通孔(kong)聚合物絕緣材(cai)料加工(gong)工(gong)藝(yi)(左上),光敏型 通孔(kong)聚合物絕緣材(cai)料的平(ping)面曝光顯影(左下)和光敏型 通孔(kong)聚合物絕緣對TSV(Ar=2:1)的保(bao)形涂覆截(jie)面示意圖(右,a,c,e從wafer圓(yuan)心到邊沿,b,d,f是(shi)放(fang)大照片

技術優勢

聯(lian)系方式

張小姐
13640929125
zhang.siyuan@xincailiao.com

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